主要技术参数
型号 |
BY-FETCHING |
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激光器 |
飞秒、皮秒激光器,波长1030nm/532nm |
纳秒激光器,波长1064nm |
加工幅面 |
1200*600mm/600*500mm/500*400mm(可定制加工幅面) |
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聚焦光斑 |
<10μm |
<20μm |
激光器频率调节范围 |
20-5000KHz |
100-500KHz |
刻蚀最小线宽 |
<10 um |
<20μm |
(最大可以去除95%以上的氧化物镀层) |
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整机精度 |
±15μm |
±20μm |
最小线间距 |
<10μm |
<20μm |
工作台定位精度 |
±2um |
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工作台重复精度 |
±1um |
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CCD自动定位精度 |
±2um |
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刻蚀速度 |
<4000mm/s |
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设备尺寸 |
1950mmL×1700mmW×1960mmH(根据实际尺寸而定) |
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设备重量 |
3500kg |
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功率消耗 |
<3000W |
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可处理文件格式 |
标准CAD2004版DXF文件 |
注:根据实验室前期实验性阶段需要,针对性开发出了实验室阶段小型激光刻蚀机,适用于100*100mm以下导电玻璃激光刻蚀、划线应用,欢迎前来咨询了解。
飞秒激光刻蚀设备适用于ITO、FTO、氧化锌、氧化锆、氧化钛、氧化镍NiOx、金、银、碳粉、铜、铝等导电金属、氧化物材料激光刻蚀。也可针对玻璃、硅片、氧化锆陶瓷等材料超细线宽激光刻蚀、划线、刻槽。
同时,适用于其他多层材料超细线宽激光刻蚀加工,如不锈钢网上的PI膜刻蚀、玻璃基材上PI膜刻蚀、不锈钢光栅划线等应用。
设备简介
设备采用固体激光器,激光波长1030nm,适合对导电玻璃与镀层进行精细刻线;采用自主研发的控制软件、直接导入CAD 数据进行激光刻蚀,操作简单,方便快捷;通过软件实时调节振镜与直线电机、电动升降工作台的设计,加上真空吸附托盘装置,能有效地解决激光刻蚀机在加工运行中的平稳性;采用独特除尘系统设计,能保证玻璃与工作平面的清洁,保证激光刻蚀过程中无残留。
设备集数控技术、激光技术、软件技术等光机电高技术于一体,具有高灵活性、高精度、高速度等先进制造技术的特征。可大范围内进行各种图案,各种尺寸的精密、高速刻蚀,并且能够保证很高的产能,是一个可靠、稳定和具有高性能价格比的产品。
适用行业
玻璃、硅片、陶瓷、PET薄膜等基底上镀膜激光刻蚀,常用于触摸屏、光伏太阳能电池、电致色玻璃、调光玻璃、发光玻璃、其它显示屏等行业激光刻蚀加工。
整体说明
主要构成:激光器、光路系统、运动系统、控制系统、 定位系统、 抽尘系统、 真吸附空系统等组成。